上海春雨特种气体有限公司

产品名称:四氟化碳?四氟化碳气体 四氟甲烷 全氟化碳

产品等级：分析纯
产品纯度：99.999%
包装规格：40L
英文名称:carbon tetrafluoride
英文别名:Tetrafluoromethane
CAS:75-73-0
EINECS:200-896-5
分子式:CF4
分子量:88
物化性质:- 熔点:-184℃
相对密度:-128
用途:用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂

产品参数：

春雨四氟化碳质量标准

中国船舶重工集团公司（简称中船重工，CSIC）成立于1999年7月1日，是在原中国船舶工业总公司所属部分企事业单位基础上组建的特大型国有企业，是国家授权投资的机构和资产经营主体，由中央管理。
    中船重工是中国最大的造修船集团之一，其中包括国内外著名的大连船舶重工集团有限公司、渤海船舶重工有限责任公司、武昌造船厂、山海关船舶重工有限责任公司、青岛北海船舶重工有限责任公司、大连船用柴油机厂和中国舰船研究院、中国船舶科学研究中心等。集中集团公司旗下优质船舶配套资产,发起设立了中国船舶重工股份有限公司,并陆续组建了中国船舶重工国际贸易有限公司、中船重工船舶设计研究中心有限公司、中船重工财务有限责任公司、中船重工科技投资发展有限公司和中船重工物资贸易集团有限公司等一批专业公司。

我公司长期向其供应优质高纯5N（99.999%）四氟化碳气体。

产品用途：

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。
1. 可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。
2. 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、
泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
3. 由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
4. 四氟化碳的溶氧性很好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已
产品包装：
（一）包装—四氟化碳钢瓶
名称：钢质无缝气瓶 (执行标准GB5099\ISO9809)
（二）存放—四氟化碳
1.气瓶使用和检验遵照国家质量技术监督局《气瓶安全监察规程》的规定。
2.气瓶不得靠近火源，不得受日光曝晒，与明火距离一般应该不小于10米，气瓶不得撞击。
3.气瓶的瓶子严禁沾染油脂。
4.气瓶内的气体不能全部用尽，应该留不小于0.04MPa剩余压力。
在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可安全脱险。

减压阀