上海春雨特种气体有限公司

英文名称：Sulfane
CAS号：7803-62-5
分子式：SiH4
分子量：32.12
规格：99.999%
熔点(101.325kPa)： -185.0℃
沸点(101.325kPa)： -111.5℃
液体密度(-185℃)： 711kg/m3
气体密度(0℃，100kPa)： 1.42kg/m3
相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：1.114
比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.7518m/kg
气液容积比(15℃，100kPa)：412L/L
临界温度： -3.4℃
临界压力：4843kPa
包装：44L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要，分装到8L的气瓶中

产品参数：

硅烷质量标准：

硅烷有毒。硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。

硅烷广泛应用于微电子、光电子工业。可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅、异质硅、各种金属硅化物等。因为它高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。

硅烷气是太阳能电池生产过程中不可或缺的材料，因为它是将硅分子附着于电池表面的最有效方式。在高于400℃的环境下，硅烷气分解成气态硅和氢气。氢气燃烧后，剩下的就是纯硅了。此外，硅烷气可以说是无处不在。除了光伏产业外，还有很多制造工厂需要用到硅烷气，如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂。

储存：

1.在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储。钢瓶应直立摆放。且保持保护性阀盖和输出阀的密封完好。

2.存储区域应远离频繁出入处和紧急出口。储存区域内不应有火源，储存区内所有电器必须有防爆设施。易燃物存放区应与氧及氧化物存放区最少相距20ft。

3.或者在中间放置至少5英尺高的非易燃材料作为屏障，以保证能耐火半小时。储存区和使用区内应有“禁止吸烟和使用明火”的告示牌。 苯基氯硅烷4.存储温度不可高于125℉(52℃)。将空瓶与满瓶分开存放。避免过量存储和存储时间过长。

5.使用先进先出系统。应考虑在储存区内安装测漏器和报警设备。

注意事项：

系统温度不可低于－170℉ (－112℃)，否则可能会吸入空气形成爆炸性混合物。

2.不要让硅烷与重金属卤化物或卤素接触，硅烷与它们剧烈反应。应仔细吹扫系统，以防残留有脱脂剂，其中所含的卤素或其他含氯的碳氢化合物。  

3.用二至三倍的工作压力对系统进行全面加压检漏，最好使用氦气。此外，还应建立和执行常规的检漏制度。  

4.系统检漏或因其他原因打开之后，应使用抽真空或惰性气体吹扫的方法将系统中的空气吹扫干净。在打开任何装有硅烷的系统之前必须用惰性气体全面吹扫系统。如果系统中的任何部分有死角或可能残留硅烷的地方，必须抽真空循环吹扫。  

5.应将硅烷排放到一个专门处理它的地方，最好是将它燃烧掉。即使硅烷浓度较低也十分危险，不能暴露在空气中。硅烷在被惰性气体稀释成不可燃的气体后也可以排空。  

6.应按照美国压缩气体协会的要求储存和使用压缩气体。当地可能对储存和使用气体要求有特殊的设备规定。